光刻机的核心指标为套刻精度、分辨率和产率，工件台的运动平均偏差决定了光刻机套刻精度，运动标准偏差直接影响光刻机分辨率，运动速度决定了光刻机的产率。

工件台、投影物镜、光源是光刻机的三大核心子系统。其中，工件台是承载硅片完成光刻过程中一系列超精密动作的运动系统，由吸盘模块、驱动模块、导向模块、位置测量模块和运动控制模块组成。双工件台技术已成为EUV、ArFi等主流光刻机的选择。光刻机双工件台的性能在光刻机对晶圆进行光刻时起到决定性影响。

双工件台，即在一台光刻机内有两个承载晶圆的工件台。两个工件台相互独立，但同时运行，一个工件台上的晶圆做曝光时，另一个工件台对晶圆做测量等曝光前的准备工作。当曝光完成之后，两个工件台交换位置和职能，如此循环往复实现光刻机的高产能。

纳米级精密运动及测控是光刻机双工件台的核心技术之一。

定位精度达微米或纳米级别的定位与传输运动模组，其主要功能是承载晶圆按照指定的运动轨迹做高速超精密运动并完成一系列曝光所需动作，包括上下片、对准、晶圆面型测量和曝光等，实现精密运动或定位。

精密运动系统的性能决定整机设备的加工或测量精度，其速度和加速度则决定了整机设备的生产效率。定位精度达微米或纳米级别的定位与传输运动模组可广泛应用于半导体检测、PCB板曝光、LCD和OLED面板检测、生物检测、激光加工等行业领域。